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    等離子清洗機
    等離子清洗機

    訪問量:1448

    產品時間:2024-10-10

    簡要描述:雅馬拓等離子清洗機PDC200:適用于研究開發的小型等離子清洗ji。均勻性高的電極構造。操作簡單的觸摸屏控制器。

    詳情介紹
    品牌YAMATO/日本雅馬拓產地類別進口
    應用領域醫療衛生,生物產業

    雅馬拓等離子清洗機PDC200產品信息:

    適用于研究開發的小型等離子清洗儀器。均勻性高的電極構造。操作簡單的觸摸屏控制器。

    高頻輸出300W(PDC200型)/500W(PDC210/510型),電極尺寸250×170mm(PDC200/210型)/410×170mm(PDC510型)適用于研究開發的小型等離子清儀器。

    使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡單”的臺式高性能型號,調取數據簡單,以電子材料為中心,可對應多種用途。

    PDC200/210/510等離子清儀器用途

    ?CSP、BGA、COB基板的等離子清洗

    ?去除有機膜和金屬氧化膜

    ?印刷電路基板的干式清洗

    ?界面活性處理

    ?LED封裝

    ?DP模式(PDC510標配·PDC200/210選配)

    ?RIE模式

    ?均勻性高的電極構造

    ?操作簡單的觸摸屏控制器

    雅馬拓等離子清洗機PDC200產品參數:

    型號

    PDC200

    PDC210

    PDC510

    等離子模式

    RIE(DP模式選配)

    RIE/DP

    電極構造

    平行平板(固定)

    高頻輸出

    Max300W

    Max500W

    頻率

    13.56MHz

    控制·顯示

    液晶觸摸屏

    反應室尺寸

    W400×D250×H150mm

    W500×D300×H200mm

    電極尺寸

    W250×D170mm

    W400×D200mm

    反應室材質

    反應氣體

    2系統(Ar、O2)

    填充氣體

    N2或干燥空氣

    反應氣體流量控制

    流量計

    聚合控制器

    真空泵

    另行選配

    油泵(約345L/分)標配

    油泵(約500L/分)標配

    氣體導入口

    反應氣體2個、填充氣體1個

    外形尺寸

    W540×D600×H600mm

    W540×D600×H600mm

    W700×D700×H1285mm

    重量

    約100kg

    約105kg

    約180kg

    電源

    單相AC100V10A

    三相AC200V6A

    三相AC200V8A



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