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當前位置:首頁技術文章使用平行光表面檢查燈在潔凈室中發現微小顆粒與劃痕

使用平行光表面檢查燈在潔凈室中發現微小顆粒與劃痕

更新時間:2021-11-25點擊次數:1726

很多行業的元器件,如半導體元器件、光學鏡頭、液晶面板等在制造過程中,空氣中不允許有過多的灰塵顆粒;對于制造中的某些步驟,例如半導體,在清洗、載流子傳輸操作或涂覆光刻膠的過程中,由于空氣中的顆粒會影響產品質量并造成重大損失。在潔凈室中進行微粒檢查的工作是必要的。

盡管潔凈室非常干凈,但是,潔凈室中仍然存在極少量的灰塵。除了空氣對流外,這些灰塵可能來自消耗品(例如手套和口罩)或由人體產生。(例如來自皮膚表面的死皮細胞)。

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以上使用LUYOR-3320平行光表面檢查燈檢測,產品咨詢請聯系我們

在潔凈室中,一些沒有氣流的區域(死點)會慢慢積聚落塵。如果空氣受到干擾,這些空氣中的微塵會直接落到產品或工作人員身上,而不會被粒子計數器感應到。這些灰塵顆粒不易在潔凈室內的空氣中漂浮。當它們因靜電或極性聚集在一起時,很難將粘性灰塵吹到排氣口。

對于這種吸附的顆粒,不僅空氣過濾器的收集效率低,而且粒子計數器也難以感應,而且這種顆粒一旦附著在重要的表面(如光罩)上,可能會影響產量。(路徑越細,影響越大。)

如果操作者在一般的白光下很難從背景中分辨出灰塵顆粒,就無法有效地清潔灰塵,從而造成損失。因此,在潔凈室中,如果可以使用特定波長的檢測工具或小角度的平行光檢查燈LUYOR-3320,就能有效檢測產品上的粘塵,從而降低不良率。

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